Зведений каталог бібліотек Харкова

 

Балыкин, В. И.
    Нанолитография методами атомной оптики [Текст] / Учреждение Российской академии наук Институт спектроскопии РАН, г. Троицк, Россия. // Российские нанотехнологии. — М., 2009. — С. 68-85.


- Анотація:

Представлены основные результаты, полученные в быстро развивающемся новом типе оптики материальных частиц - атомной оптике и одном из ее практических приложений - атомной нанолитографии. Рассматриваются основные методы создания элементов атомной оптики, приводятся основные достижения атомной нанолитографии на основе атомной оптики, обсуждаются перспективы развития атомной нанолитографии

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • УДК // Атомна фізика
  • УДК // Нанотехнологія
  • УДК // Фізика окремих молекул
  • УДК // Фізика плазми



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт