С целью разработки новых материалов для электродов литиевых батарей синтезированы и исследованы тонкие пленки на основе нанокомпозита кремний-углерод. Пленки получены путем последовательного магнетронного напыления нанометровых слоев углерода и кремния на металлические подложки при комнатной температуре. Толщина каждого слоя составляла 1-6 нм, суммарная толщина полученных пленок варьировалась в пределах 100-400 нм. Структура пленок исследована методами рентгенофазового анализа, оптической и КР спектроскопии, сканирующей электронной и атомно-силового микроскопии. Показано, что полученные пленки вопреки ожиданиям не являются слоистыми структурами, а образуют фрактально неупорядоченную систему с тремя масштабными уровнями - матрицу из частиц размером 20-30 нм, в которой стабилизированы крупные агрегаты, состоящие, в свою очередь, из наночастиц размером 3-5 нм. Структура агрегатов проанализирована методами компьютерного моделирования. Определены значения фрактальной размерности агрегатов, обсужден возможный механизм формирования и роста фрактальной структуры.