Предложен иерархический набор постепенно усложняющихся моделей контактного режима механического взаимодействия зонда атомного силового микроскопа (АСМ) с исследуемой поверхностью, учитывающих различные факторы. Разработан вариант модели механического взаимодействия зонда АСМ с поверхностью, принимающий во внимание одновременное влияние геометрии зонда и упругих деформаций кантилевера АСМ для случая не слишком сильно искривленных исследуемых поверхностей. Обсуждается также вариант модели взаимодействия зонда АСМ с поверхностью изучаемого образца, учитьшающий одновременное влияние геометрии зонда, упругих деформаций кантилевера и контакта зонда с исследуемой поверхностью в рамках модели Дерягина-Мюллера-Торопова (ДМТ). Разработаны алгоритмы расчетов положения зонда АСМ, построенные с учетом оптимизации выгаислений.
