Анализируются качественные и количественные закономерности, относящиеся к теории масштабирования характеристик КМОП СБИС. Обсуждаются физические ограничения, связанные с отсутствием масштабирования отдельных параметров и их критического влияния при переходе на топологические нормы менее 100 нм.
