Исследовано влияние регулярного микрорельефа, образованного на поверхностях трения с твердопленоч-ным покрытием на основе дисульфида молибдена, на адгезию покрытия к подложке, на коэффициент трения и износостойкость пар трения приборов, работающих в вакууме при высокой температуре. Показано, что вибронакатывание поверхностей трения с твердопленочным покрытием с образованием регулярного микрорельефа увеличивает адгезию покрытия к подложке в несколько раз и позволяет производить 100% -й контроль качества покрытия. Создание регулярного микрорельефа на поверхностях трения с твердосмазочным покрытием снижает коэффициент трения до 0,06-0,08 и увеличивает износостойкость покрытия.