Экспериментально исследован источник быстрых атомов аргона. В источнике использованы полый титановый катод диаметром 210 мм и глубиной 90 мм, а также плоская эмиссионная сетка. Изучены факторы, определяющие диаметр зоны однородного травления подложки широким пучком быстрых атомов аргона, получаемых в результате перезарядки ионов, ускоряемых между разделенными сеткой плазменным эмиттером внутри полого катода и вторичной плазмой в рабочей вакуумной камере. Показано, что на расстоянии от сетки, превышающем длину резонансной перезарядки в < 4 раза, упругие столкновения не оказывают заметного влияния на пространственное распределение скорости травления в вакуумной камере. При мощности пучка до 3-5 кВт диаметр зоны однородного травления определяется угловыми характеристиками ускоренных частиц в плоскости сетки и увеличивается с уменьшением их энергии и с ростом тока пучка.
