Методом молекулярної динаміки досліджено процеси атомного упорядкування при низькотемпературному осадженні металів з ГЦК структурною на щільноупаковану площину (111). Показано, що зміна структури поверхневого шару структури має недифузійний характер і зумовлена колективним рухом атомів в кластерах.