621.38 | Ц78 | Цопкало, Н. Н. Разработка методики исследования электропроводности локальных областей полупроводниковых монокристаллов и элементов микросхем [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.12.11 - полупроводниковые и микроэлектронные приборы и технология их производства / Таганрог. радиотехн. ин-т им. В.Д.Калмыкова. — Таганрог, 1977. — 19 с. |
| | |
|