Обобщены методы минимизации влияния температур на тонкопленочные нано- и микроэлектромеханические системы и датчики давления на их основе. Даны характеристики и описание различных методов. Из анализа методов сделан вывод о необходимости их комплексного использования.

Измерительная техника [Текст] : научно-технический журнал / Госком РФ по стандартизации и метрологии. — М.

• УДК // Вимірювання геометричних та механічних величин: вимірювальні прилади, методи та одиниці вимірювання