На основе использования характеристик отражения и прохождения электромагнитных волн предложены новые микроволновые методы измерения толщины диэлектрических материалов, нанесенных на различные основания. Приведена методика оценки точности измерения представленных методов. Ключевые слова: диэлектрические материалы, электромагнитные волны, микроволновые методы измерения, оценка точности измерения.

Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика [Текст] : Научно-технический и производственный журнал // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика - М. : Научтехлитиздат. — М. : Научтехлитиздат, 2009.

• УДК // Нанесення металевого та неметалевого покриття. Нанесення провідникового, напівпровідникового, діелектричного, магнітного покриття та плівок, а також плівок і покриття з електричним опром. Металізація