Исследовано тепловое проявление дефектов в тонкопленочных резисторах, получены зависимости рассеивания мощности от дефекта, перепады температур между дефектами и бездефектными участками. Получены выражения для определения пороговой чувствительности измерителя температуры, предназначенного для определения скрытых дефектов в резисторах.