На основе объемной модели окисления с учетом влияния внутренних механических напряжений и временной релаксации коэффициента диффузии окислителя в диоксиде проведен качественный анализ эффектов, наблюдающихся при обычном, быстром и многостадийном термическом окислении кремния.
