Зведений каталог бібліотек Харкова

 

Царьгородцев, Ю. П.
    Нанесение металлических пленок с использованием магнетронного разряда в системе с полым катодом [Текст] / Московский государственный институт электроники и математики, г.Москва, Россия // Известия вузов. Электроника. — 2009. — С. 19-24.


Автор: Царьгородцев Ю.П., Полуэктов Н.П., Харченко В.Н., Камышов И.А., Усатов И.И.

- Анотація:

Проведены исследования плазмы в магнетронном разряде с полым катодом для осаждения металлических пленок, применяемых в изделиях микро- и наноэлнктроники.

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • УДК // Електричні розряди



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт