| | Царьгородцев, Ю. П. Нанесение металлических пленок с использованием магнетронного разряда в системе с полым катодом [Текст] / Московский государственный институт электроники и математики, г.Москва, Россия // Известия вузов. Электроника. — 2009. — С. 19-24. |
| | |
|