Зведений каталог бібліотек Харкова

 
Пошук Відібрані Опис документа
Початкова сторінка Сайт УФД

Овчинников, В. А.
    Разработка технологии ретуширования прозрачных дефектов фотошаблонов на лазерной установе ЭМ-5001Б [Текст] / Московский государственный институт электронной техники, г.Москва, Россия // Известия вузов. Электроника. — 2009. — С. 25-28.

- Анотація:

Установлена зависимость высоты осажденного материала от режимов осаждения, кратности проходов и длины осажденной линии. Определены технологические режимы процесса устранения прозрачных дефектов на фотошаблоне.

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • УДК // Механічна конструкція. Конструктивні матеріали та компоненти



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт