Зведений каталог бібліотек Харкова
Белозубов, Е. М. Нано- и микроэлектромеханические системы тонкопленочных датчиков давления. Принципы построения и перспективы исследований [Текст] / Пензенский государственный университет, г.Пенза, Россия // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика : Научно-технический и производственный журнал. — М. : Научтехлитиздат, 2009. — С. 26-32.
- Анотація:
Рассмотрены принципы построения тонкоплёночных тензорезисторных и емкостные нано- и микроэлектромеханических систем (НиМЭМС) датчиков давления, приведены основные типы конструкций НиМЭМС, показаны их преимущества. Поставлены задачи перспективных исследований НиМЭМС и датчиков давления на их основе, направленные на решение проблем повышения устойчивости к воздействию нестационарных температур и повышенных виброускорений. Ключевые слова: тонкопленочные тензорезисторные нано- и микроэлектромеханические системы, датчики давления, нестационарная температура, повышенное виброускорение.
- Є складовою частиною документа:
Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика [Текст] : Научно-технический и производственный журнал // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика - М. : Научтехлитиздат. — М. : Научтехлитиздат, 2009.
- Теми документа
