Зведений каталог бібліотек Харкова
Рыжук, Р. В. Влияние режимов формирования на свойства ионно-легированных карбид-кремниевых диодных структур [Текст] / Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", г.Москва, Россия // Известия вузов. Электроника. — 2009. — С. 7-14.
- Анотація:
Показано, что свойства ионно-лнгированных карбид-кремниевых структур практически не зависят от дозы имплантации в диапазоне от 1000 до 3000 мкКл/см2. Для анализа ВАХ экспериментальных образцов построены зонные энергетические диаграммы.
- Є складовою частиною документа:
Известия вузов. Электроника. [Текст] // Известия вузов. Электроника ; Министерство образования РФ, Московский государственный институт электронной техники - М. : МИЭТ. — 2009.
- Теми документа
