Рассчитаны статические и динамические характеристики пьезопреобразователя нано- и микроперемещений для оборудования нанотехнологии и микроэлектроники, построена параметрическая структурная схема пьезопреобразователя и определено влияние физических и геометрических параметров пьезопреобразователя на его статические и динамические характеристики.
