Приводятся результаты экспериментального исследования условий развития вакуумного разряда при действии электронного пучка на поверхность трехкомпонентного и четрыхкомпонентного сплавов. В результате исследования времени задержки разряда и массового состава ионов, образованных в разряде, обнаружено селективное испарение компонентного сплава, приводящее к изменению времени задержки разряда при возрастании числа пробоев