|
Автор: Колпаков А.Я., Поплавский А.И., Галкина М.Е., Суджанская И.В., Гончаров И.Ю., Дручинина О.А., Стригунов Н.В., Харченко В.А., Мерчанский О.Ю.
-
Анотація:
Приведены результаты исследований свойств наноразмерных углеродных покрытий, легированных азотом, вольфрамом и алюминием, полученных импульсным вакуумно-дуговым методом на кремнии. Исследовано влияние легирования на величину внутренних напряжений, микротвердость и морфологию поверхности. Установлено, что легирование наноразмерных углеродных покрытий азотом, вольфрамом и алюминием позволяет влиять на величину внутренних напряжений в них, морфологию поверхности, а также прочностные свойства системы "подложка-покрытие".
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Нанесення металевого та неметалевого покриття. Нанесення провідникового, напівпровідникового, діелектричного, магнітного покриття та плівок, а також плівок і покриття з електричним опром. Металізація
-
УДК // Нанотехнологія
|
