Зведений каталог бібліотек Харкова
Агеев, О. А. Фотоактивация процессов формирования наноструктур методом локального анодного окисления пленки титана [Текст] / Технологический институт Южного федерального университета, г.Таганрог, Россия // . — С. 23-31.
Автор: Агеев О.А., Алябьева Н.И., Коноплев Б.Г., Поляков В.В., Смирнов В.А.
- Анотація:
Представлены результаты экспериментальных исследований режимов активации зондовой нанолитографии тонкой пленки титана методом локального анодного окисления.
- Є складовою частиною документа:
Известия вузов. Электроника. [Текст] // Известия вузов. Электроника ; Министерство образования РФ, Московский государственный институт электронной техники - М. : МИЭТ. — 2010.
- Теми документа
