| | Невлюдов, И. Ш. Метод операционного контроля толщины полупроводниковых пластин в процессе обработки [Текст] / И.Ш. Невлюдов, Н.Г. Стародубцев // Вопросы проектирования и производства конструкций летательных аппаратов : сб. науч. трудов. — Х. : Нац. аэрокосмический ун-т "ХАИ", 2006. — С. 40-47. |
| | |
|