Зведений каталог бібліотек Харкова
Бобринецкий, И. И. Формирование интегрированных наноразмерных графеновых структур при фокусированном ионном травлении [Текст] / Московский государственный институт электронной техники. // Российские нанотехнологии. — М., 2010. — С. 66-70.
- Анотація:
Разработаны ионно-пучковые методы формирования наноструктур в мультиграфеновых слоях, интегрированных с системой токоподводящих электродов в процессе групповых микроэлектронных технологий.
- Є складовою частиною документа:
Российские нанотехнологии [Текст] // . — М., 2010.
- Теми документа
