|
Автор: Белов А.Н., Гаврилов С.А., Сагунова И.В., Тихомиров А.А., Чаплыгин Ю.А., Шевяков В.И.
-
Анотація:
Приведено описание тестовой структуры на основе нанопрофилированного алюминия для определения радиуса кривизны острия игл микромеханических зондов сканирующей силовой микроскопии. На примере исследования геометрии различных микромеханических зондов проведена апробация тестовой структуры.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Оптична апаратура та прилади
| 