Проведен обзор существующих методов и оборудования для финишных отделочно-зачистных операций при обработке прецизионных деталей ЛА. На основе анализа публикаций по теме установлено, что основным направлением развития этого класса технологий будет очистка поверхностей прецизионных деталей от корпускулярных загрязнений. С учетом этого выделены методы, в наибольшей степени удовлетворяющие требованиям финишной обработки деталей прецизионных механизмов ЛА. В качестве наиболее перспективного метода обоснован выбор термоимпульсного способа финишной очистки. Определены приоритетные задачи совершенствования термоимпульсного оборудования с учетом требований современного производства, использующего интегрированные CAD/CAE-системы. Ключевые слова: прецизионные детали, финишная обработка, микрочастицы, термоимпульсная очистка, математическое моделирование CAD/CAE-системы.