Методами лазерной масс-спектрометрии, микрорентгеноспектрального анализа, растровой микроскопии и ядерно-физическими исследованиями изучены морфология, состав эпитаксиальных пленок, определены профили распределения основных элементов Si, Ge и примесных Р и В. Получены профили распределения элементов на границе раздела подложка-пленка. Показано, что в зависимости от условий получения могут быть реализованы поликристаллические и эпитаксиальные варианты структуры в широком диапазоне концентраций основных элементов и вводимых примесей Р и В. Ключевые слова: кремний, германий, плёнки, морфология поверхности, исследования, легирование, состав, распределение элементов.

• http://library.khai.edu/library/fulltexts/doc2011/Bokuch.pdf

Авиационно-космическая техника и технология [Текст] : Научно-технический журнал // Авиационно-космическая техника и технология - Х. : Нац. аэрокосм. ун-т им. Н. Е. Жуковского "Харьк. авиац. ин-т". — Х. : Нац. аэрокосмический ун-т "ХАИ", 2010.

• УДК // Металургія
• УДК // Продукти хімічної промисловості