Зведений каталог бібліотек Харкова

 

Григорашвили, Ю. Е.
    Формирование мишеней из высокотемпературного сверхпроводника [Текст] / Московский государственный институт электронной техники, Москва // . — С. 41-45.


- Анотація:

Представлена технология изготовления мишени из сверхпроводящего композиционного материала (КМ) состава Bi2Sr2Ca2Cu3Ox, легированного оксидом свинца в виде объемной сетки. Мишень предназначена для магнетронного нанесения пленок высокотемпературного сверхпроводника с критической температурой 110 К и толщиной до 100 нм на подложку. Мишень устойчива к возникновению трещин при термоциклах в процессе эксплуатации, имеет надежный тепловой контакт с основанием магнетрона, что исключает изменение состава поверхности мишени в процессе ее распыления.

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • УДК // Надпровідність
  • УДК // Провідники та напівпровідники залежно від матеріалу виготовлення



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт