|
Автор: Золотаревский Ю.М., Аневский С.И., Иванов В.С., Крутиков В.Н., Лахов В.М., Минаева О.А., Минаев Р.В.
-
Анотація:
Описаны методы использования синхротронного излучения для исследования метрологических характеристик многослойных наноструктур, применяемых в качестве оптических фильтров в области экстремального вакуумного ультрафиолетового диапазона при решении задач наноэлектроники.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Аналітичні методи. Спеціальні типи та методи
-
УДК // Загальні принципи та теорія вимірювань, конструкція приладів. Методи вимірювання/Общие принципы и теория измерений, конструкция приборов
-
УДК // Нанотехнологія
-
УДК // Розповсюдження та енергетика випромінювання. Фотометрія
|
