Зведений каталог бібліотек Харкова
Минаев, В. Л. Влияние эффекта изменения фазы отраженной волны на измерения формы поверхности в оптической профилометрии [Текст] / ВНИИОФИ. // Измерительная техника : научно-технический журнал / Госком РФ по стандартизации и метрологии. — С. 36-38.
- Анотація:
Рассмотрено влияние эффекта изменения фазы отраженной электромагнитной волны при измерениии профиля поверхности с помощью сканирующего интерференционного микроскопа белого света и когерентного интерференционного микроскопа фазового сдвига.
- Є складовою частиною документа:
Измерительная техника [Текст] : научно-технический журнал / Госком РФ по стандартизации и метрологии. — М.
- Теми документа
