Зведений каталог бібліотек Харкова
Саханский, С. П. Управление скоростью вытягивания при выращивании монокристаллов кремния [Текст] / Сибирский государственный аэрокосмический университет, г.Красноярск, Россия // Мехатроника, автоматизация, управление. — 2010. — С. 37-39.
- Анотація:
Предложена математическая модель формирования скорости вытягивания на установке выращивания монокристаллов кремния по способу Чохральского, которая позволяет автоматизировать процесс ввода программного задания скорости в микропроцессорную систему управления. Ключевые слова: скорость вытягивания, монокристалл кремния, осевой градиент
- Є складовою частиною документа:
Мехатроника, автоматизация, управление. [Текст] // Мехатроника, автоматизация, управление. - М. : Машиностроение. — 2010.
- Теми документа
