Зведений каталог бібліотек Харкова

 
Пошук Відібрані Опис документа
Початкова сторінка Сайт УФД

Егоров, Г. П.
    Измерение внутренних напряжений в нанопленках in-situ [Текст] / Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ". // Российские нанотехнологии. — М., 2010. — С. 74-78.

- Анотація:

Описан метод измерения внутренних напряжений в нанопленках in-situ. Метод основан на измерении прогибов консольно закрепленной пластині во время осаждения нанопленок в вакууме.

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • УДК // Нанотехнологія
  • УДК // Явища та властивості (крім процесів переносу)



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт