|
Автор: Гостев А.В., Дицман С.А., Лукьянов Ф.А., Орликовский Н.А., Рау Э.И., Сеннов Р.А.
-
Анотація:
Описан метод микротомографии слоистых микроструктур при детектировании обратнорассеянных электронов в растровом электронном микроскопе. Метод основан на формировании послойных изображений скрытых под поверхностью микроструктур с помощью отфильтрованных в узком энергетическом окне отраженных электронов. Для микротомографии и спектроскопии отраженных электронов применен усовершенствованный спектрометр дефлекторного типа с тороидальными электростатическими секторными электродами. Для повышения четкости и точности сепарации отдельных заглубленных гетерограниц осуществлен модуляционный принцип детектирования видеосигнала.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Кристалохімія
-
УДК // Лампи,керовані електронним пучком
| 