Рассматривается применение прецизионных и высокоскоростных мехатронных систем для трехмерного оптического контроля в современных технологиях электронного производства. Рассмотрены особенности мехатронных систем оптического контроля, их структура, требования, предъявляемые к системам контроля и к их электромеханическим подсистемам. Приведены примеры применения оптомехатронных систем в современных технологиях сборки печатных плат методом монтажа на поверхности, изготовления керамических многослойных структур, изготовления интегральных схем методом "перевернутого кристалла ". Ключевые слова: оптомехатронные системы, автоматические оптические системы контроля, активные системы технического зрения
