Методами растровой электронной микроскопии с микроанализом, обратного рассеяния протонов и рентгеноструктурного анализа было проведено исследование морфологии поверхности, элементного и фазового состава композиционных покрытий Al2O3+Cr+TiN, нанесенных комбинированным способом с использованием импульсно-плазменной и вакуумно-дуговой технологий и послудующей обработкой электронным пучком. Показано, что после облучения покрытия высокоенергетическим потоком электронов происходит изменение структуры, состава и свойств композиционного покрытия.