Проведен анализ эффектов, связанных с бомбардировкой поверхности сложной формы частицами, в широко используемых плазменных процессах нанесения покрытий, объектом изучения которого является регулярная последовательность атомов, бомбардируемая извне под углом относительно нормали к оси ряда. Рассмотрен процесс взаимодействия атомных частиц с поверхностями в области энергий бомбардирующих частиц порядка единиц или десятков электрон-вольт. Рассмотрены основные тенденции поведения величин, которые позволяют сделать предварительные выводы о превалирующих процессах на начальной стадии напыления покрытия на поверхность подложки. Ключевые слова: адсорбционный слой, диапазон энергий, параметры удара, математическая модель, модель твердых шаров, коэффициент аккомодации, адсорбент, адсорбат, конденсация, десорбция.
