У статті розглянуто задачу дослідження точності руху лазерного променя під час контролю геометричних розмірів деталі при роботизованому керуванні лазерною головкою. Задача дослідження точності руху полягає в аналізі динаміки похибки руху вимірювальної системи. Представлена структурна схема системи контурного керування рухом лазерною головкою роботизованої лазерної вимірювальної системи. Обробку даних з метою визначень коефіцієнтів ряду Фур'є зручно виконувати за допомогою програми, що реалізується в системі MATLAB. Показано, що точність вимірювання геометричних розмірів деталей зі складною просторовою поверхнею підвищується на 25 - 35%. Ключові слова: лазерні вимірювальні системи, матриця перетворення Якобі, координати Френе, оцінка похибки, допустиме відхилення, прецизійні оптичні методи вимірювання.