Представлены состояние разработок, тенденции развития, а также конструктивно-технологические проблемы создания высокотемпературных полупроводниковых датчиков давлений на основе карбида кремния. Ключевые слова: карбид кремния, высокотемпературный датчик давления, технология изготовления, чувствительный элемент.

Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика [Текст] : Научно-технический и производственный журнал // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика - М. : Научтехлитиздат. — М. : Научтехлитиздат, 2010.

• УДК // Вимірювання механічної напруги та деформацій. Тензометри/Измерение механических напряжений и деформаций. Тензометры/Measurement of mechanical tension and deformations. Tenzometra
• УДК // Перетворювачі. Датчики