Рассмотрена методика моделирования технологических источников электронов высоковольтного тлеющего разряда, основана на использовании математических функций с средств моделирования системы MatLab. Расчет распределения потенциала выполнен методом интегральных уравнений, а расчет пространственного заряда - методом трубок тока.