Предложены системы автоматизированного статистического контроля, анализа и регулирования групповых технологических процессов изготовления резисторов тонкопленочных интегральных схем при учете контактных сопротивлений. Система автоматизированного статистического контроля позволяет оперативно определять производственные погрешности основных конструктивно-технологических параметров резисторов, необходимые для конструктивного расчета резисторов и управления качеством их изготовления. Система анализа и регулирования технологических процессов позволяет управлять величинами погрешностей в пределах заданных границ регулирования.
