|
Автор: Лысенко В.Г., Соловьев В.В., Лускинович П.Н., Золотаревский С.Ю., Губский К.Л.
-
Анотація:
Рассмотрены вопросы метрологического обеспечения измерений параметров шероховатости и рельефа наноструктурированных поверхностей.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Властивості та структура молекулярних систем
-
УДК // Електронні ( катодні ) промені та пов'язана геометрична оптика
-
УДК // Електронно- мікроскопічні методи дослідження/Электронно-микроскопические методы исследования/Electronic and microscopic methods of research
-
УДК // Нанотехнологія
| 