Предложен метод получения углеродных нанотрубок путем магнетронного распыления углеродной мишени, позволяющий модифицировать традиционные зонды для зондовой микроскопии с помощью углеродных нанотрубок, что значительно улучшает их характеристики. Зонды с нанотрубками с радиусом закругления кончика до нескольких нанометров могут быть использованы для прецизионного сканирования, контроля качества образцов и нанолитографии.