Рассматривается возможность применения методов электронной литографии для создания наноразмерных биологически активных структур посредством облучения тонких пленок полиметилметакрилата, находящихся на хорошо проводящих подложках. Для оценки разрешающей способности таких структур проводится расчет эффекта близости с помощью аналитической модели кинетического уравнения, объединяющей малоугловое и диффузионное приближения. Важно отметить, что полученная модель не содержит подгоночных экспериментальных параметров
