Рассмотрены функциональные устройства с бесконтактным магнитным взаимодействием, предназначенные для специального оборудования высоких технологий. Приведены методика и результаты расчетов механизмов на привносимые загрязнения микрочастицами износа в чистой вакуумной среде, что позволяет создавать рациональные конструкции функциональных устройств и оптимизировать параметры проектируемого сверхвысоковакуумного аналитико-технологического и технологического оборудования. Ключевые слова: технологическое оборудование, сверхвакуумная установка, функциональные устройства

Технология машиностроения [Текст] : Обзорно-аналитический, научно-технический и производственный журнал // Технология машиностроения - М. : Технология машиностроения. — М. : Технология машиностроения, 2011.

• УДК // Муфти