Получены передаточные функции многослойных пьезодвигателей нано- и микроперемещений при продольном и поперечном пьезоэффекте, произведена коррекция характеристик пьезодвигателя с использованием встроенного пьезодатчика. Для обеспечения качества систем управления деформацией многослойных пьезодвигателей и требуемого показателя колебательности выбраны корректирующие устройства. Определены условия абсолютной устойчивости систем управления деформацией многослойных пьезодвигателей нано- и микроперемещений для продольного и поперечного пьезоэффекта.