Рассмотрено моделирование упругих элементов нано- и микроэлектромеханических систем в процессе проектирования. Предложен маршрут моделирования, позволяющий устанавливать связи и выявлять закономерности между различными параметрами систем, находить оптимальные решения.

Измерительная техника [Текст] : научно-технический журнал / Госком РФ по стандартизации и метрологии. — М.

• УДК // Вимірювання геометричних та механічних величин: вимірювальні прилади, методи та одиниці вимірювання
• УДК // Нанотехнологія