В работе рассмотрены вопросы построения управляемых пьезорезонансных колебательных систем в виде кварцевых частотных модуляторов на базе использования технологии микроэлектромеханических систем. Установлена целесообразность использования микроконденсаторов с электростатическим управлением как конструктивных элементов кварцевых частотных модуляторов, благодаря их высокой электрической добротности, низкому уровню шумов и низкому управляющему напряжению. Предложена конструкция матричного подвижного электрода с управляемой геометрией, рассмотрены режимы его работы. Разработан алгоритм построения характеристик управления: модуляционной характеристики и коммутационной характеристики. Установлено, что коммутационная характеристики весьма близка к линейной, благодаря чему обеспечивается точное воспроизведение управляющего закона цифровым путем. Приведены примеры формирования ЧМ-сигналов по гармоническому закону и 2GFSK.
