На основе решения совместной задачи теплопроводности и термоупругости получены поля температур и температурных напряжений, которые при определенном составе по сорту, энергии и зарядности ионов или разных энергий электронов, их плотности тока создаются условия для образования наноструктур. Для случая действия трех потоков электронов различной энергии и плотности токов экспериментально получены наноструктуры и теоретически обосновано их образование на стали 50 с микротвердостью до 45 ГПа. Все это позволяет утверждать возможность получения наноструктур при действии потоков электронов. Ключевые слова: наноструктуры, поля температур, температурные напряжения, ион, электрон.