Зведений каталог бібліотек Харкова

 

Анисимов, В. Ф.
    Метод вакуумного напыления для формирования сплавных вторично-эмисионных покрытий [Текст] / В.Ф. Анисимов, А.С. Арефьев // Известия вузов. Электроника. — 2011. — С. 16-19.


- Анотація:

Приведена технология изготовления и результаты исследований тонкопленочных сплавных вторично-эмисионных покрытий на основе щелочноземельных металлов, изготовленных методом вакуумного напыления, после воздействия на них дугового розряда в среде инертного газа.

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • УДК // Тонкоплівочні інтегральні схеми



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт