Зведений каталог бібліотек Харкова
Агеев, О. А. Формирование наноразмерных структур на кремниевой подложке методом фокусированных ионных пучков [Текст] / О.А. Агеев, А.С. Коломийцев, Б.Г. Коноплёв // Известия вузов. Электроника. — 2011. — С. 29-34.
- Анотація:
Представлены результаты экспериментальных исследований режимов формировангия наноразмерных структур на кремниевой подложке методом фокусированных ионных пучков. Получены зависимости диаметра и глубины наноразмерных структурот тока ионного пучка и времени воздействия ионного пучка в точке.
- Є складовою частиною документа:
Известия вузов. Электроника. [Текст] // Известия вузов. Электроника ; Министерство образования РФ, Московский государственный институт электронной техники - М. : МИЭТ. — 2011.
- Теми документа
