Зведений каталог бібліотек Харкова
Голишников, А. А. Формирование наноразмерных структур методом плазменного травления [Текст] / А.А. Голишников, М.Г. Путря, Е.Н. Рыбачек // Известия вузов. Электроника. — 2011. — С. 35-39.
- Анотація:
Разработан и оптимизирован процесс изотропного плазменного травления поликремния для формирования наноструктур. Получены зависимости технологических характеристик процесса изотропного плазменного травления поликремния от его операционных параметров.
- Є складовою частиною документа:
Известия вузов. Электроника. [Текст] // Известия вузов. Электроника ; Министерство образования РФ, Московский государственный институт электронной техники - М. : МИЭТ. — 2011.
- Теми документа
