Приведены результаты исследования нанопокрытия на основе системы Si-O-C-N, наносимого безвакуумным методом финишного плазменного упрочнения. Показано, что при типичных скоростях перемещения плазменной струи 10…100 мм/с покрытие наносится слоями толщиной 30…3 нм. Скорость охлаждения наносимого покрытия составляет порядка -1010…-1012 К/с, что предопределяет его аморфное состояние. Выявлено отсутствие на дифрактограм м ах линий фаз, не относящихся к материалу подложки, что подтверждает рентгеноаморфность покрытия. Установлено, что физико-механические свойства (высокие твердость и упругое восстановление, низкий модуль Юнга) покрытия должны обеспечивать повышенные характеристики износостойкости изделий.

Упрочняющие технологии и покрытия [Текст] : научно-технический и производственный журнал // Упрочняющие технологии и покрытия - М. : Машиностроение , 2006. — М. : Машиностроение, 2011.

• УДК // Нанесення металевого та неметалевого покриття. Нанесення провідникового, напівпровідникового, діелектричного, магнітного покриття та плівок, а також плівок і покриття з електричним опром. Металізація